Филтрҳои гази нимноқил:
Таъмини покии бенуқсони газ дар чипсозӣ
Дар ҷаҳони мураккаби истеҳсоли нимноқилҳо, ки дар он дақиқӣ ва тозагӣ аз ҳама муҳим аст, сифати
газҳои истифодашуда дар муайян кардани муваффақияти раванд нақши муҳим мебозанд. Наҷосатҳо, ҳатто дар сатҳи беохир,
метавонад ба схемаи нозуки микрочипҳо халал расонад ва онҳоро ноқис ва корношоям гардонад. Барои муҳофизат кардан
ин раванди муҳим, филтрҳои гази нимноқилӣ ҳамчун посбонҳои бебозгашт истода, ифлоскунандаҳоро бодиққат тоза мекунанд
ва таъмини сифати тозаи газҳое, ки аз хатҳои истеҳсолӣ ҷорӣ мешаванд.
Бисёр хусусиятҳо ва манфиатҳои филтрҳои металлии синтерӣ мавҷуданд
1. Дар муҳити муосири тозаи ҳуҷра сохта шудааст
Ин филтрҳо дар як ҳуҷраи тозаи замонавӣ таваллуд шудаанд, ки дар он шароитҳои бебаҳо бодиққат нигоҳ дошта мешаванд, то ҳама гуна ифлосшавии эҳтимолиро кам кунанд. Онҳо аз раванди ҷиддии истеҳсолот, аз кафшери дақиқ дар зери атмосфераи ҳавои тоза оғоз мекунанд. Оббозии минбаъдаи оби деионизатсияшуда ва пас аз тозакунии нитроген бо фишори баланд ва филтршуда, ҳама зарраҳои дарозро нест мекунад ва хатари рехтани зарраҳоро коҳиш медиҳад.
2. Самаранокии истисноии бартараф кардани зарраҳо
Бо самаранокии назарраси филтратсияи 9 LRV барои зарраҳои 0.003μm, бо риояи стандартҳои қатъии муқаррарнамудаи усулҳои санҷиши SEMI F38 ва ISO 12500, ин филтрҳо ҳама зарраҳо ва зарраҳои зангзаниро, ки аз қисмҳои ҳаракаткунанда тавлид мешаванд, ба таври муассир тоза мекунанд ва тозагии покии онро таъмин мекунанд. газхо.
3. Қувваи олии механикӣ
Барои кафолат додани устувории истисноӣ дар равандҳои истеҳсолӣ ва муҳитҳое, ки аксар вақт фишори баланди газро истифода мебаранд, ба таври қатъӣ озмуда шудаанд, ин филтрҳо дар тӯли тамоми умри худ иҷрои устуворро таъмин мекунанд.
4. Зиёда аз меъёрҳои баландтарини саноат
Ин филтрҳо аз талаботи қатъии филтратсия оид ба коркарди газ барои коркарди нимноқилҳо бартарӣ дошта, аз санҷиши ҷиддӣ мегузаранд, то онҳо ба самаранокии муҳими филтратсия, назорати дақиқи ҷараён ва стандартҳои бехатарие, ки системаҳои интиқоли газ дар истеҳсоли нимноқилҳо талаб мекунанд, мувофиқат мекунанд.
5. Ухдадорихои бе-хатарй
Барои муҳофизат аз таъсири газҳои оташгиранда, зангзананда, заҳролуд ва пирофорӣ, корпусҳои филтр аз санҷиши дақиқи ихроҷ мегузаранд ва кафолат медиҳанд, ки онҳо суръати назарраси ихроҷи камтар аз 1x10-9 atm scc / сонияро ба даст меоранд. Ин ӯҳдадории бемайлон ба бехатарӣ кафолат медиҳад, ки газҳои хатарнок нигоҳ дошта мешаванд ва аз расонидани зарар пешгирӣ карда мешаванд.
6. Покӣ бетараф барои Chipmaking аъло
Ин филтрҳои газ тавассути қобилиятҳои истисноии филтратсия, ӯҳдадории устувор ба бехатарӣ ва риояи стандартҳои баландтарини саноатӣ, ин филтрҳои газ дар ҳифзи раванди мураккаби истеҳсоли нимноқилҳо нақши муҳим мебозанд. Онҳо ҳамчун посбонони покӣ истода, кафолат медиҳанд, ки танҳо газҳои тозатарин аз хатҳои истеҳсолӣ ҷорӣ шаванд ва барои эҷоди микрочипҳои баландсифат, ки ҷаҳони муосири моро қувват мебахшанд, роҳ мекушоянд.
Намудҳои филтрҳои нимноқилҳо
Филтрҳои нимноқилҳо дар барномаҳои гуногун истифода мешаванд, аз ҷумла:
* Истеҳсоли электроника:
Филтрҳои нимноқилҳо барои тоза кардани зарраҳо аз оби тоза, газҳо ва кимиёвӣ, ки дар истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, истифода мешаванд.
* Планаризатсияи механикии химиявӣ (CMP):
Филтрҳои нимноқилӣ барои тоза кардани зарраҳо аз slurries CMP истифода мешаванд, ки барои сайқал додани вафли нимноқил истифода мешаванд.
* Биологӣ:
Филтрҳои нимноқилӣ барои тоза кардани зарраҳо аз моеъҳое, ки дар ташхис ва табобат истифода мешаванд, истифода мешаванд.
* Муҳити зист:
Филтрҳои нимноқилӣ барои тоза кардани зарраҳо аз ҳаво ва об истифода мешаванд.
Чор намуди асосии филтрҳои нимноқилҳо мавҷуданд:
1. Филтрҳои мембрана:
Филтрҳои мембрана аз плёнкаи борик ва ковок сохта шудаанд, ки имкон медиҳад моеъҳо ҳангоми банд кардани зарраҳо гузаранд.
2. Филтрҳои амиқ:
Филтрҳои амиқ аз як кати ғафси ғафс сохта шудаанд, ки зарраҳоро ҳангоми аз филтр гузаштан ба дом меандозанд.
3. Филтрҳои адсорбент:
Филтрҳои адсорбент аз маводе сохта шудаанд, ки зарраҳоро ҷалб ва нигоҳ медоранд.
4. Филтрҳои металлии агломератсияшуда
Филтрҳои металлии синтерӣ як намуди филтри амиқ мебошанд, ки одатан дар истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд. Онҳо тавассути агломератсияи хокаи металлӣ ба сохтори ковокӣ сохта мешаванд. Филтрҳои металлии синтерӣ бо устувории баланд, самаранокии баланди филтратсия ва қобилияти тобоварӣ ба ҳарорат ва фишорҳои баланд маълуманд.
Афзалиятҳои филтрҳои металлӣ барои истеҳсоли нимноқилҳо:
* Давомнокии баланд:
* Самаранокии баланди филтратсия:
* Муҳлати дароз:
* Мутобиқати кимиёвӣ:
Истифодаи филтрҳои металлӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо:
* Тозакунии газ:
Филтрҳои металлии синтерӣ қисми муҳими раванди истеҳсоли нимноқилҳо буда, барои таъмини истеҳсоли дастгоҳҳои нимноқилҳои баландсифат кӯмак мекунанд.
Навъи филтри нимноқил, ки дар як барномаи мушаххас истифода мешавад, аз андозаи зарраҳои хориҷшаванда, навъи моеъи филтршаванда ва сатҳи дилхоҳи филтратсия вобаста аст.
Ин аст ҷадвале, ки намудҳои гуногуни филтрҳои нимноқилро ҷамъбаст мекунад:
Навъи филтр | Тавсифи | Барномаҳо | Тасвир |
---|---|---|---|
Филтрҳои мембрана | Аз плёнкаи тунук ва ковок сохта шудааст, ки имкон медиҳад, ки моеъ ҳангоми банд кардани зарраҳо гузарад. | Истеҳсоли электроника, CMP, биотиббӣ, экологӣ | |
Филтрҳои чуқурӣ | Аз як кати ғафси печидае сохта шудааст, ки зарраҳоро ҳангоми аз филтр гузаштан ба дом меандозад. | CMP, биотиббӣ, экологӣ | |
Филтрҳои адсорбент | Аз маводе сохта шудааст, ки зарраҳоро ҷалб мекунад ва нигоҳ медорад. | Истеҳсоли электроника, CMP, биотиббӣ, экологӣ | |
Филтрҳои металлӣ | Бо синтеризатсияи хокаи металлӣ ба сохтори ковокӣ сохта шудааст. | Тозакунии газ, филтратсияи кимиёвӣ, филтратсияи оби ултра тоза, филтратсияи slurry CMP | Филтрҳои металлӣ барои нимноқилҳо |
Ариза
Филтрҳои гази нимноқилҳои металлии синтерӣ дар соҳаҳои гуногуни саноати нимноқилҳо васеъ истифода мешаванд. Хусусиятҳои беназири онҳо, ба монанди самаранокии баланди филтратсия, устуворӣ ва қобилияти тобоварӣ ба ҳарорат ва фишорҳои баланд, онҳоро ҷузъи муҳими системаҳои интиқоли газ дар истеҳсоли нимноқилҳо мекунанд.
Инҳоянд баъзе аз барномаҳои мушаххаси филтрҳои гази нимноқилҳои металлӣ:
1. Истеҳсоли вафли:
Филтрҳои металлии синтерӣ барои тоза кардани газҳое, ки дар истеҳсоли вафель истифода мешаванд, ба монанди нитроген, гидроген ва оксиген истифода мешаванд. Ин газҳо барои равандҳо, ба монанди афзоиши эпитаксиалӣ, кӯза ва допинг муҳиманд.
2. Филтратсияи кимиёвӣ:
Филтрҳои металлии синтерӣ барои филтр кардани кимиёвӣ, ки дар истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, ба монанди кислотаҳо, асосҳо ва ҳалкунандаҳо истифода мешаванд. Ин кимиёвӣ барои мақсадҳои гуногун, аз ҷумла тозакунӣ, пошидан ва сайқал додан истифода мешаванд.
3. Филтркунии оби ултрасаф:
Филтрҳои металлӣ барои филтр кардани оби ултра тоза (UPW), ки дар истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, истифода мешаванд. UPW барои тоза кардан ва шустани вафлиҳо, инчунин барои тайёр кардани маводи кимиёвӣ муҳим аст.
4. Филтркунии slurry CMP:
Филтрҳои металлии синтерӣ барои филтр кардани slurries CMP истифода мешаванд, ки барои сайқал додани вафли нимноқил истифода мешаванд. CMP як раванди муҳим дар истеҳсоли микрочипҳо мебошад.
5. Филтркунии нуқтаи истифода (POU):
Филтрҳои металлии синтерӣ аксар вақт ҳамчун филтрҳои POU истифода мешаванд, ки мустақиман дар нуқтаи истифода насб карда мешаванд, то сатҳи баландтарини филтратсияро таъмин кунанд. Филтрҳои POU махсусан барои барномаҳое муҳиманд, ки тозагии газ муҳим аст, масалан дар истеҳсоли микропросессорҳо ва дигар дастгоҳҳои сермахсул.
6. Муомилоти гази тозаи баланд:
Филтрҳои металлии синтерӣ дар системаҳои коркарди гази тоза барои тоза кардани ифлоскунандаҳо аз газҳое, ки дар истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, истифода мешаванд. Ин ифлоскунандаҳо метавонанд зарраҳо, намӣ ва пайвастагиҳои органикиро дар бар гиранд.
7. Истеҳсоли микроэлектроника:
Филтрҳои металлии синтерӣ дар истеҳсоли микроэлектроника, ба монанди компютерҳо, планшетҳо, телефонҳои мобилӣ, сенсорҳои IoT ва дастгоҳҳои назоратӣ истифода мешаванд.
8. Системаҳои микроэлектромеханикӣ (MEMS) филтратсия:
Филтрҳои металлии синтерӣ дар филтратсияи MEMS истифода мешаванд, ки раванди тоза кардани ифлоскунандаҳо аз системаҳои микроэлектромеханикӣ мебошад. MEMS дар барномаҳои гуногун, аз ҷумла сенсорҳо, фаъолкунандаҳо ва табдилдиҳандаҳо истифода мешаванд.
9. Филтркунии дастгоҳи нигаҳдории маълумот:
Филтрҳои металлии синтерӣ дар филтратсияи дастгоҳи нигаҳдории додаҳо истифода мешаванд, ки раванди тоза кардани ифлоскунандаҳо аз дастгоҳҳои нигаҳдории додаҳо, ба монанди дискҳои сахт ва дискҳои ҳолати сахт мебошад.
Илова ба ин барномаҳои мушаххас, филтрҳои гази нимноқилҳои металлӣ дар як қатор барномаҳои дигар дар саноати нимноқилҳо низ истифода мешаванд. Гуногунӣ ва эътимоднокии онҳо онҳоро барои истеҳсолкунандагони нимноқил як воситаи муҳим мегардонад.
Дар ҷустуҷӯи филтрҳои гази нимноқилҳои баландсифати металлӣ?
HENGKO шарики асосии шумо барои ҳалли OEM дар системаҳои истеҳсоли нимноқилҳо мебошад.
Филтрҳои муҳандисии дақиқи мо эътимоднокӣ ва самаранокиро дар равандҳои шумо таъмин намуда, ба шумо дар бозори рақобат бартариро пешниҳод мекунанд.
Чаро Филтрҳои HENGKO-ро интихоб кунед?
* Сифати олӣ ва устуворӣ
* Қарорҳои фармоишӣ барои мувофиқ кардани ниёзҳои мушаххаси шумо
* Фаъолияти мукаммал барои истеҳсоли нимноқилҳо
Нагузоред, ки мушкилоти филтратсия истеҳсоли шуморо боздорад.
Имрӯз ба мо муроҷиат кунед, то бифаҳмед, ки чӣ гуна филтрҳои металлии мо дар системаи истеҳсолии шумо инқилоб карда метавонанд.
Бо мо дар тамос шаведka@hengko.com
Бо HENGKO шарик шавед ва ба сӯи аъло дар истеҳсоли нимноқилҳо қадам гузоред!