Сенсори ҳарорат ва намӣ барои Нақшаи назорати намии нимноқил барои ҳарорати ҳуҷраи тоза
Намоиши маҳсулот
Ҳароратванамии фазои тоза асосан аз рӯи талаботи раванд муайян карда мешавад, аммо дар ҳолати қонеъ кардани талаботи раванд, ҳисси бароҳат бояд ба назар гирифта шавад.Бо такмил додани талабот ба тозагии ҳаво, тамоюли талаботҳои сахттар ба ҳарорат ва намӣ вуҷуд дорад.
Азбаски дақиқии коркард торафт хубтар аст, бинобар ин, диапазони тағирёбии ҳарорат камтар ва камтар аст.Масалан, дар раванди экспозицияи литографии истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ, фарқияти коэффисиенти васеъшавии гармӣ байни шиша ва вафли кремний ҳамчун маводи ниқоб хурдтар ва хурдтар аст.Диаметри 100 um кремний вафли, болоравии ҳарорат 1 дараҷа, боиси тавсеаи хаттии 0,24um мегардад, бинобар ин бояд ҳарорати ± 0,1 дараҷа бошад, дар айни замон арзиши намӣ умуман паст аст, зеро одамон арақ мекунанд, маҳсулот ифлос мешавад, махсусан аз цехи нимнокили натрий метарсад, ин цех набояд аз 25 дарача зиёд бошад.
Рутубати баланд боиси мушкилоти бештар мегардад.Вақте ки намии нисбӣ аз 55% зиёд мешавад, дар девори қубури оби хунуккунанда шабнам ба вуҷуд меояд, ки дар сурати рух додани он дар дастгоҳҳои дақиқ ё схемаҳо садамаҳои гуногунро ба вуҷуд меорад.Вақте ки намии нисбӣ 50% аст, занг задан осон аст.Илова бар ин, вақте ки намӣ аз ҳад зиёд баланд аст, ғубори ба рӯи чипи кремний часпидашуда ба рӯи кимиёвӣ адсорб карда мешавад, то ба хориҷшавӣ муқобилат кунад.Ҳар қадаре ки намии нисбӣ баланд бошад, бартараф кардани адгезия душвор аст, аммо вақте ки намии нисбӣ аз 30% камтар аст, зарраҳо аз таъсири қувваи электростатикӣ дар рӯи замин ба осонӣ адсорб мешаванд ва миқдори зиёди дастгоҳҳои нимноқилӣ майл ба вайроншавӣ.Диапазони ҳарорати оптималии истеҳсоли вафель 35-45% аст.
Аз ин рӯ, назорати ҳарорат ва намӣ махсусан муҳим аст, HENGKO метавонад ба шумо як қатор пешниҳод кунадинтиқолдиҳандаи ҳарорат ва намӣ ҳалли фармоишии коркард!
Сенсори ҳарорат ва намӣ барои Нақшаи назорати намии нимноқил барои ҳарорати ҳуҷраи тоза
Оё маҳсулоте, ки ба талаботи шумо ҷавобгӯ бошад, пайдо карда наметавонед?Бо кормандони фурӯшандаи мо тамос гиредХидматҳои мутобиқсозии OEM/ODM! 
